根据我国的《洁净室施工验收规范》和国际标准 ISO 14644-4 《洁净 室的设计与施工》中的有关要求,洁净室工程援工验收的检测内容如下。静压差测试;风速或风量测试、通风机风量、转数;高效过滤器的世漏检测:温度、相对湿度、气流流型、自净时间;照度测定、防静电性能测定、噪声测定、微振测定。 若洁净室内设有商纯水、高纯气等供应系统时,还应根据建设方的要求进行商纯水、高纯气供应配管的试压、泄漏量和污染状况等的测试工作,以确保高纯水、商纯气使用点水 质、气体纯度要求。
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空气洁净度等级 |
小于或等于表中粒径的最大浓度限值( pc/m² ) |
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ISO标准 |
中国标准 |
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
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1级 |
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10 |
2 |
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2级 |
一级 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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3级 |
五级 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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4级 |
十级 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
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5级 |
百级 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
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6级 |
千级 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
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7级 |
万级 |
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352000 |
83200 |
2930 |
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8级 |
十万级 |
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3520000 |
832000 |
29300 |
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9级 |
三十万级 |
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35200000 |
8320000 |
293000 |
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